太赫茲時域光譜儀的無損檢測應(yīng)用是采用太赫茲時域光譜成像法，優(yōu)點是可以在采集設(shè)備涵蓋的整個太赫茲頻段頻譜信息及空間信息，從而可以解析出每個頻點的太赫茲成像，信息量很大。除了自身完成成像功能，還可以找到特定材料的特定適合頻點，為今后商品化的單頻太赫茲成像實驗或設(shè)備提供實驗指導(dǎo)。此時需要注意，波長越長（即頻率越低）則透過性越好；波長越短（即頻率越高）則極限空間分辨率越高；
其次盡可能利用太赫茲輻射峰值頻段進行分析則信噪比容易得到保證；另外在無損檢測時如果某物質(zhì)或某缺陷在某頻率下有強烈吸收或反射則在此頻率下的成像信噪比則更好；再次是太赫茲輻射波長接近于毫米，在某些薄片材料界面內(nèi)反射如果和半波長成整倍數(shù)則會產(chǎn)生干涉，在處理時可以回避；總的來講，TDS-THz的頻譜覆蓋范圍越寬則靈活性及極限空間分辨率可以越高。言及極限空間分辨率，因為市場上所有的步進電機掃描臺的位移分辨率均為微米量級，遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于太赫茲波段的百微米到毫米的物理衍射極限，所以商家標(biāo)注的掃描臺位移分辨率對于太赫茲成像是不具備實際意義的，建議和廠家索要實際太赫茲光譜成像結(jié)果予以評估，達到百微米量級均被認(rèn)為合格。
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